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EUV光刻机：中国能否自主制造？随着全球半导体产业的迅猛发展，光刻机作为芯片制造的核心设备，其重要性不言而喻。特别是极紫外（EUV）光刻机，因其能够实现更高的分辨率和更精细的图案刻画，成为高端芯片制造的关键技术。然而，EUV光刻机的制造难度极高，目前全球仅有少数几...